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公司简介


海拓创新是一家专注半导体及显示行业关键零部件进行国产化的技术型公司。在国产化静电卡盘及基于静电卡盘为技术核心设备领域的设计、生产具有领先地位。通过了ISO14001、ISO14001等国际质量体系认证。

海拓创新公司为半导体FAB、国产半导体装备商提供高效国产化(Second Source)静电卡盘备件服务方案,旨在最大程度提高设备正常运行率,降低运营成本。为了支持国产化半导体装备的发展,我们不断投入,与半导体装备制造商及实验室重新设计具有全新知识产权静电卡盘部件和子系统以提高性能。我们还开发全新的基于静电卡盘为技术核心的新设备支持更先进的应用。

我们的静电卡盘系统在4至12英逻辑芯片、存储芯片、功率器件FAB都拥有丰饶的验证实绩,涵盖晶圆搬运、氧化物/多晶硅刻蚀、离子注入、薄膜等工序。我们的静电卡盘子系统成功在国产半导体装备制造商及实验室完成键合/层压、印刷、激光划片、缺陷检测、新工艺开发等方面实现小规模量产。

展望未来,海拓创新公司将为客户提供完整的自动化设备服务和最强大的支持能力的系统解决方案。面向客户,海拓创新致力于为自动化设备制造商和最终用户提供最佳解决方案。在高端平板显示、半导体/微电子等工艺设备领域拥有领先技术,为客户提供全面解决方案的战略服务商!