基础原理概述

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基础原理概述

Definition

  • 静电吸附技术重新定义了二十一世纪夹持设备新形式，它可以像电磁铁一样通过设定吸附时间及延迟吸附时间，可任意激活和停止对被吸物体的吸附力，能吸附几乎任何物体，如吸附金属、半导体、绝缘体。
  • Electrostatic Chuck 简称 ESC 或者 E-CHUCK，中文名称为静电吸盘或静电卡盘，是以库伦定律、洛伦兹定律、J-R效应、电势梯度等为原理依据的新型吸附技术。
  • 根据被吸附对象材质的特性采用一种或者多种吸附方式，从而实现对物体有效地吸附。


Core Technology

  • 自主研发设计，兼容性强，摆脱国外技术依赖。
  • 静电吸附力排布均匀、不残留静电荷。
  • 交期快、寿命长快、售后快速响应。
  • 优化电介质材料、电极组、极性逆变等一系列前端技术。

  • 静电吸附力最高可达250gf/cm²，支持客制化尺寸。

Technical Characteristics

  • Parameter
Type Specification Description
Materials Ceramics  
Custom Size (Inch) Max.30  
Adsorption Force  (gf/cm²) Max.250 ±1.5 KV/0.5mA
Flatness (μm) ± 10  
Withstand Voltage (KV) Max.15.0  
Temperature (℃) Max.500  
Environmental (Torr) 1.37*10ˉ³  
Polarity 1 / 2  
Other Conditions    

  • Customized parameters for reference only.

Specification

  • Detailed questions please contact customer service online or toll-free telephone numbers to book your accommodation.

  • 24H Tel No.:400 111 2003.

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